手動(dòng)探針臺(tái)

　　一、操作前準(zhǔn)備

　　1、‌環(huán)境檢查‌：

　　確保操作環(huán)境清潔、干燥，無(wú)灰塵和雜質(zhì)。檢查操作臺(tái)面是否穩(wěn)定，無(wú)晃動(dòng)或傾斜。

　　2、‌設(shè)備檢查‌：

　　檢查探針臺(tái)各部件是否完好，無(wú)損壞或松動(dòng)。確認(rèn)探針和針頭清潔無(wú)油污，無(wú)磨損或損壞。檢查真空系統(tǒng)(如適用)是否正常，無(wú)泄漏現(xiàn)象。

　　3、‌樣品準(zhǔn)備‌：

　　確保樣品表面清潔，無(wú)雜質(zhì)或污染物。根據(jù)測(cè)試需求，將樣品正確放置在探針臺(tái)的工作區(qū)域。

　　二、操作步驟

　　1、‌開(kāi)啟設(shè)備‌：

　　按照設(shè)備說(shuō)明書(shū)的要求，開(kāi)啟探針臺(tái)電源和相關(guān)輔助設(shè)備(如顯微鏡、照明等)。

　　2、‌安裝探針‌：

　　根據(jù)測(cè)試需求，選擇合適的探針并安裝到探針臺(tái)上。確保探針安裝牢固，無(wú)松動(dòng)或晃動(dòng)現(xiàn)象。

　　3、‌調(diào)整探針位置‌：

　　使用探針臺(tái)的微調(diào)裝置，將探針緩慢移動(dòng)到樣品上方。通過(guò)顯微鏡觀察探針與樣品的位置關(guān)系，確保探針準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)測(cè)試點(diǎn)。

　　4、‌施加壓力‌：

　　根據(jù)測(cè)試需求，通過(guò)探針臺(tái)的壓力調(diào)節(jié)裝置，施加適當(dāng)?shù)膲毫Φ教结樕�。注意壓力不要過(guò)大，以免損壞樣品或探針。

　　‌5、進(jìn)行測(cè)試‌：

　　在施加壓力的同時(shí)，通過(guò)測(cè)試儀器(如萬(wàn)用表、示波器等)觀察測(cè)試數(shù)據(jù)。記錄測(cè)試數(shù)據(jù)，并根據(jù)需要進(jìn)行多次測(cè)試以驗(yàn)證結(jié)果的準(zhǔn)確性。

　　‌6、結(jié)束測(cè)試‌：

　　測(cè)試完成后，緩慢抬起探針，避免與樣品發(fā)生碰撞。關(guān)閉測(cè)試儀器和探針臺(tái)電源，清理操作區(qū)域。

　　通過(guò)上述介紹可知，手動(dòng)探針臺(tái)的操作精度直接決定研發(fā)成果的可靠性，通過(guò)建立標(biāo)準(zhǔn)化操作流程、掌握故障診斷方法、實(shí)施預(yù)防性維護(hù)，可顯著提升測(cè)試效率與數(shù)據(jù)質(zhì)量。