真空探針臺

　　1、使用前準(zhǔn)備

　　首先，確保設(shè)備清潔，檢查電源、氣源連接正常，探針和電纜完好。佩戴防靜電手環(huán)和手套，防止靜電損傷。對待測樣品進(jìn)行清潔，確保測試點干凈。同時，檢查真空腔體密封性及真空泵狀態(tài)。

　　2、樣品放置與定位

　　將樣品小心放置在卡盤上，利用真空吸附或機械固定。通過探針臺配備的顯微鏡系統(tǒng)，仔細(xì)調(diào)整樣品位置，使待測壓點位于探針下方。操作顯微鏡和X-Y-Z移動平臺，確保探針能精準(zhǔn)接觸目標(biāo)壓點。

　　3、抽真空與探針接觸

　　啟動真空泵，開始對腔體抽氣，直至達(dá)到所需的超高真空度并穩(wěn)定。在此過程中，保持樣品位置穩(wěn)定。真空穩(wěn)定后，小心操作Z軸，讓探針輕柔地接觸樣品壓點，確保良好電氣連接，同時避免探針彎曲或損壞樣品。

　　測試過程連接好外部測試儀器(如參數(shù)測試儀)，設(shè)置好測試參數(shù)。在真空環(huán)境下開始測試，密切觀察設(shè)備狀態(tài)和數(shù)據(jù)變化。如遇異常，應(yīng)立即停止測試。

　　4、測試完成

　　測試結(jié)束后，先關(guān)閉測試儀器輸出，再小心抬起探針。按照規(guī)程關(guān)閉真空泵，逐步放氣使腔體恢復(fù)常壓。取出樣品，妥善保存。最后清理探針臺，檢查探針，并進(jìn)行必要的日常維護(hù)。

　　總而言之，使用超高真空探針臺時，務(wù)必遵守安全規(guī)程，正確使用超高真空探針臺，能幫助科研人員和工程師獲取高精度的電學(xué)數(shù)據(jù)，為器件研發(fā)和性能優(yōu)化提供有力支持。